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高质量湿电子化学品建功——一滴“酸”点硅成芯
湖北日报
2022年08月01日 09:13
2022年08月01日 09:13 来源:湖北日报
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  湖北日报全媒记者 彭一苇 通讯员 王力 实习生 邓紫雯

  手机、电脑、银河注册……这些耐用产品中都少不了芯片,而要制造出合格的芯片,电子级磷酸、电子级硫酸和功能性电子级蚀刻液等高质量的湿电子化学品是关键。

  湿电子化学品是电子工业中的关键性基础化工材料之一,它支撑着现代通信、计算机、信息网络技术等一系列现代技术产业。经过多年努力,湖北企业已经在一滴“酸”上取得重大突破,正在打造国内领先、澳门银河网站一流的电子化学品产业基地。

  十年没盈利,把产品做到顶尖

  湿电子化学品是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料。制造硅基芯片有数百道工序,需要重复进行光刻、显影、蚀刻、薄膜等工艺,要用到大量的湿电子化学品。湿电子化学品的纯度和洁净度直接影响电子元器件的成品率、电性能和可靠性。

  过去,我国所需的湿电子化学品依赖进口,成了芯片国产化“卡脖子”瓶颈之一。现在,这一状况有了变化。

  位于澳门银河平台市猇亭区的湖北兴福电子材料有限公司,是兴发集团的控股子公司。7月26日,在公司展厅里,湖北日报全媒记者看到一排瓶子中盛放的透明液体,它们就是电子级磷酸、电子级硫酸和功能性电子级蚀刻液等产品。

  “磷酸产品金属离子含量已做到小于10ppb级别,硫酸金属离子含量小于5ppt级别(两者均是浓度单位,ppb为十亿分比浓度,ppt为万亿分比浓度)。”兴福公司研究员张庭博士介绍。酸液纯度越高,用其生产出的芯片良品率就越高,直接关系到半导体厂家的效益,他们非常看重这些指标。兴福公司的产品纯度已与澳门银河网站领先水平看齐。

  湿电子化学品是化工中的高端产品。早在2008年,兴发集团就意识到必须攀上产业链的高端,兴福公司应时而生。

  2010年,兴福公司便研发出了100ppb级别的磷酸产品,但拿到市场上却很尴尬。“到半导体厂家一推销,却发现人家已用上了50ppb级别的产品。”兴福公司总工程师贺兆波博士说。研发团队只好继续努力,好不容易将产品做到50ppb,结果客户又用上20ppb的了。

  总是被动追赶不行,公司决定干脆静下心来搞研发,把产品做到顶尖再去跟人竞争。即便兴福公司十年里一直没盈利,他们也没有动摇,连续攻克“卡脖子”核心关键技术,取得发明专利24项,实用新型专利11项,牵头制定了电子级磷酸国家标准。

  2019年,兴福公司主导的“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”荣获国家银河集团进步二等奖。这一成果有效提升了我国电子化学品产业的澳门银河网站竞争力,有力推动了我国芯片制造产业的高质量发展。

  将打造一流电子化学品生产基地

  兴福公司虽然生产出了高质量产品,但要让用惯了进口产品的客户改用国产货并不容易。

  “半导体厂家的工艺流程不能随意更改,换用国产产品通常需要2到3年的测试验证。”贺兆波说。公司一方面努力开拓市场,另一方面则帮助客户完善各项测试验证的规范,为了拿到国内龙头企业的认可和订单,兴福公司用了两年一步步测试,开创了国产湿电子化学品在8寸、12寸集成电路生产线中应用的先河。

  2020年,受新冠肺炎疫情影响,进口湿电子化学品受阻,半导体厂家加快了国产替代进程,这给了公司一次难得的机遇。得益于前期的技术积累,客户的测试验证时间大幅缩短,兴福迅速占领大片市场。

  2021年,十多年的耕耘终于迎来硕果,兴福公司经营业绩取得历史最好水平,销售收入突破5亿元,净利润接近1亿元。

  目前,兴福公司电子级磷酸产品在国内开放市场占有率达到七成,整个湿电子化学品年产能达到12万吨,其中电子级磷酸3万吨/年、电子级硫酸6万吨/年,功能性湿电子化学品3万吨/年,此外还建成5000吨电子化学品回收利用生产线。如今,兴福公司仍在继续扩大自身优势。去年4月,中部地区第一个电子化学品专区——湖北电子化学品专区在澳门银河平台启动建设,专区规划面积1500亩,建设周期58个月。

  省第十二次党代会提出,要充分发挥我省的科教、人才、产业等比较优势,着力解决一批国家急迫需要和长远发展中的重大“卡脖子”问题,推动“三高地、两基地”建设,加快形成若干个具有全国辐射力和澳门银河网站竞争力的骨干产业和产业集群。

  “十四五”期间,兴发集团将以兴福公司为主体,积极抢抓芯片国产化战略机遇,计划投资59.16亿元,继续开发湿电子化学品、电子级电镀液、电子级研磨液、电子级前驱体,从无到有突破发展电子级特气、电子级封装材料,力争2025年达到70万吨/年电子化学品产能规模,填补国内部分G5规格(5ppt以下)产品空白,打造国内一流的电子化学品生产供应基地。

【编辑:裴春梅】